AMC是影響半導體制程的重要因素，主要表現為表面分子污染，這是由氣態分子和特定表面作用而形成非常薄的化學膜，化學膜通常改變產品表面的物理、電子、化學和光學特性而導致質量缺陷，造成產品良品率下降。AMC種類復雜、來源廣泛、控制難度高。

AMC控制方案

化學過濾器用于去除AMC。在潔凈室的凈化空調系統中，包括新風處理機組（MAU）配置化學過濾器，風機過濾單元（FFU）上安裝化學過濾器，以保持大環境、微環境中合格的空氣質量。

此外為了滿足各生產工序設備維修的需要，當其他的系統不能經濟合理地提供所需要的凈化處理時，設置移動式深層空氣化學過濾器，去除局部高濃度的污染氣體，避免高濃度的污染氣體進入潔凈室循環風系統。

采用先進化學過濾技術去除AMC

化學反應:濾料化學反應

污染物同吸附劑中的化學物質發生化學反應，從而達到去除污染物的目的

該過程非常特殊，取決于吸附劑和被吸附物的化學性質

該過程基本速度很快，并且是不可逆的

可以將有毒有害氣體化學氧化為無害的固體

濾料特點

去除效率高，過濾效率可達 95% 以上

化學反應式過濾原理，無有毒物質釋放

產品種類多，能滿足各類氣態污染物過濾需求

性能穩定，處理能力強，反應迅速

無細菌和微生物滋生

化學過濾器采用了先進的材料和技術，確保了對AMC的高效去除。這些過濾器不僅具備出色的吸附能力，而且能夠根據污染物的種類和濃度進行精確調節，以適應不同工藝階段的需求。

化學過濾器特點：

安裝方便，操作簡單;

高效過率，比傳統活性炭更廣譜去除氣態分子污染物;

低阻力，無遞增壓損，節能環保;

使用壽命長，通過化學吸附法去除氣態污染物，氣態污染物與濾料發生化學反應，有效杜絕空氣環境的二次污染，永久去除氣態污染物。